德图气探针以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是以动能为10-30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，从而产生特征X射线。

　　德图气探针可直观地显示合金表面渗层元素的含量及分布情况、腐蚀后各元素对应的分布特征、不同热处理工艺下铝合金中锌元素的面分布特征及碲元素在镍基合金中的渗透过程。

　　电子探针的分析结果具有很强的直观性，其原位分析特征使之在金属材料领域中，不管是在产品检测、失效分析、工艺优化还是基础研究等方面都能发挥效用。

　　碳素钢或低合金钢通过表面处理，如渗碳处理后，在保持内部具有一定韧性的基础上，可以使表面具有更好的耐磨性。碳素钢或低合金钢经过碳氮共渗后，表面的耐蚀性也得到进一步的加强，这种表面处理工艺在齿轮和轴等机械零部件中应用非常广泛。根据使用目的的不同，表面碳和氮的含量及渗层深度也会有所不同。

　　钢中微量元素的定量分析使用德图气探针的工作曲线法，通过建立工作曲线，可以把面分析和线分析的计数值转换成对应的质量分数。由碳氮共渗处理后表面碳和氮元素的面分布可知碳和氮元素从表面到内部，其含量(质量分数，下同)逐渐变化，反映出其渗透过程。碳和氮元素从表面到基体的线分布特征曲线上可以读出不同渗透深度下碳、氮元素的相应含量，例如表面层碳元素含量约为0.88％，氮元素含量约为0.40％，硬化层深度约0.85mm。