德图气探针又可称之为微区X射线谱分析仪，实际上就是把高速的电子打在物体上。探针它捕获的不是电子，它要的是物体受到电子攻击产生的X线，因为这个X线含有标本的化学成分信息，所以它长用来分析物体里有什么，这样我们就知道标本里面有多少氢多少氧等等。

　　德图气探针是X射线光谱学与电子光学技术相结合而产生的。48年法国的R.卡斯坦制造了台电子探针仪。58年法国首先制造出商品仪器。电子探针仪与扫描电子显微镜在结构上有许多共同处。70年代以来生产的电子探针仪上一般都带有扫描电子显微镜功能，有的还附加另一些附件，使之除作微区成分分析外，还能观察和研究微观形貌、晶体结构等。

　　德图气探针主要包括：探针形成系统(电子枪、加速和聚焦部件等)、X射线信号检测系统和显示、记录系统、样品室、高压电源和扫描系统以及真空系统。

　　德图气探针有三种基本工作方式：

　　1.点分析用于选定点的全谱定性分析或定量分析，以及对其中所含元素进行定量分析；

　　2.线分析用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化；

　　3.面分析用于观察元素在选定微区内浓度分布。

　　由莫塞莱定律可知，各种元素的特征X射线都具有各自确定的波长，通过探测这些不同波长的X射线来确定样品中所含有的元素，这就是探针定性分析的依据。而将被测样品与标准样品中元素Y的衍射强度进行对比，就能进行探针的定量分析。当然利用电子束激发的X射线进行元素分析，其前提是入射电子束的能量必须大于某元素原子的内层电子临界电离激发能。